白光干涉仪测薄膜膜厚

SuperViewW1白光干涉仪测薄膜膜厚能够以优于纳米级的分辨率，对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。仪器具有测量精度高、功能全面、操作便捷、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精密器件的过程用时2分钟以内，确保了高款率检测。并且其特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精密器件表面的测量。

结果组成：

1、三维表面结构：粗糙度，波纹度，表面结构，缺陷分析，晶粒分析等；

2、二维图像分析：距离，半径，斜坡，格子图，轮廓线等；

3、表界面测量：透明表面形貌，薄膜厚度，透明薄膜下的表面；

4、薄膜和厚膜的台阶高度测量；

5、划痕形貌，摩擦磨损深度、宽度和体积定量测量；

6、微电子表面分析和MEMS表征。

性能特点

1、3D测量

白光干涉仪测薄膜膜厚采用白光干涉技术，结合具有抗噪性能的3D重建算法，真实还原样品的每一个细节，随意翻转缩放，轻松观察、测量样品的任意特征。

2、功能全

粗糙度、平面度、孔洞分析等3D测量功能全部囊括，距离、角度、直径测量等2D轮廓分析功能覆盖，有依据ISO|ASME|EUR|GBT四大国内外标准的300余种特征参数

3、操作便捷

直观的操作界面，操作流程一目了然，自动聚焦，一键实现测量过程；可视化的工作流程树，一键激活的图库管理功能，所见即所得的分析功能，有一键分析功能，批量测量不用愁。

4、高重复精度

采用了扫描模块和内部抗振设计，可实现高0.05%的测量精度重复性和0.002nm的粗糙度RMS重复性。

W1白光干涉仪测薄膜膜厚提供1100单镜头手动版和1200多镜头自动版两种机型，另可针对不同的客户需求，在两种型号间选取不同配置进行组合，让仪器切合客户需求，贴心省力。